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不锈钢真空气氛管式电炉不锈钢炉体SX-B系列节能高温箱式电炉1200℃集成型自动小型PECVD系统

电炉加热丝分布及炉体差别目前，箱式电炉和井式电加热炉功率均在100千瓦左右，个别大型箱式电炉更高达180KW。考虑到控制电器负荷对加热功率的限制和电炉丝工作温度对寿命的影响，电炉丝在炉内从中间被物理分开，呈现两段独立加热的控制方式。箱式电炉分为前和后加热区；井式电炉分为上和下两个加热区，在炉门上部还安装有搅拌电机，用于强制平衡炉内温场。虽然这两种加热炉体存在结构性的不同，温度控制回路采用的电器通、断开关也存在本质性的差异，但是它们所凸现的故障特征却有着明显的相似之处。下面就从剖析它们的温度控制回路来探询温度失衡的故障机理。

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2.1箱式结构电炉控温原理 大型箱式电炉具有内部容积大，工件平台可以受控移出，工作温度又常常处于950度左右的高温范围，因此，适合大工件的热处理应用。（图一）是180KW箱式电炉的温度控制电路简图。通过对电炉丝的测量，炉体中的两个独立加热区的阻值差异较大，前区分别为3.53欧和9.41欧；后区12.5欧和9.21欧，这是因为炉门上的电炉丝与前加热区的一路为并联结构，但这不妨碍前、后两个独立加热区域的划分。前、后温区分别由两个300安培的交流接触器控制380V加热电源的通断。在炉体上方两个独立加热区域各自的中间部位，分别插入一根1.2米长测温用K型双芯热电偶，插入炉内深度应不超过150mm。其产生的能代表炉膛真实温度的4路热电势信号，通过K型补偿导线送给两组块、分别用于温度设定的数字控制仪表和担负工艺曲线记录并兼加温时间的圆图记录仪表。两块数字仪表分别将两路温度控制信号，以"位式"开关量的形式直接输出给中间继电器，通过其通断，进而控制交流接触器的吸合与释放，从而完成电炉的升温与保温。

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