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Apico AP系列全自动耦合系统 主要应用：硅光波导耦合、分光器、AWG、准直器、特殊光纤等相关光路耦合。低成本、紧凑地、高精度和可操作、适用于不同类型的光学组件和模块的耦合对准设备。

其灵活性高，可用于研发；质量高，能满足生产需要。并可保证表面的密度和光滑度。离子束技术通过在单一设备上实现系统利用率大化，可提供多种刻蚀和沉积方式。我们的系统有多种硬件选择，包括开放式进样和盒式进样。

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CW/QCW两种供电模式，QCW模式下脉宽、频率可调。配置OCR视觉识别系统，自动录入COS器件编号，百分百可追溯。测试芯片的功率、波长、发散角、偏振度等参数，生成LIV曲线。操作简便，供电模式、加电速率、测试温度等均可设置。牛津仪器Plasmapro 100系列提供200mm操作平台，可进行单晶片和多晶片批量处理，工艺均匀性优异、产能大、精度高。我们的设备经过了严格的考验，可在90%以上时间保持正常运行，并能确保在安装过程中快速启动。PlasmaPro 100系列可适用于多个市场领域，包括但不限于，微机电系统和传感器、光电子器件、分立器件和纳米技术。

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