𲩱վ-(对比)西藏高温台车炉(2024更新成功)(今日/说明)

作者:[195p4r] 发布时间:[2024-05-20 02:19:35]

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我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本概不负责。8%内,不可与中频高频等高磁场发生设备共用供电网,远离中频设备,防止空间电磁辐射。如果同一供电回路存在中、高频设备,或者大型感性负载,应在供电回路加入适当的电抗柜滤波,配置电容柜自动补偿,谐波检测和治理,对设备进行电磁隔离处理,否则可能导致加热炉工作不稳定甚至损坏!此类问题导致加热炉故障或损坏不属于保修范围。

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添加图片注释,不超过 140 字(可选)现阶段,超高温退火设备由于技术难度较高,相关设备仍主要依靠进口,国产化设备逐步在打开市场空间,主要的设备厂商包括:德国Centrotherm、日本东横化学、JTEKT Thermo Systems、北方华创、中国电科48所和拉普拉斯等。国内应用较为成熟的设备有北方华创的SiC-VERIC系列高温炉、中国电科48所的R2120-3/UM等。北方华创在8 吋及以下半导体装备领域拥有多年的经验,其量产型SiC高温氧化/退火炉,可覆盖扩散、氧化、退火、Poly、SiO2/SiNTEOS等工艺,设备性能业内,已在国内多条主流生产线上量产应用。例如,SiC-VERIC 系列高温炉,适用于 SiC 基功率器件制造中的高温工艺环节。为实现 SiC 晶圆片在高温 环境下完成栅氧制备和离子激活工艺,SiC-VERIC系列高温氧化炉和退火炉,均采用立式结构设计,加热腔与工艺腔独立双真空,保证了工艺腔的气密性和洁净度,腔室温度分布均匀,工艺气流均匀稳定,可获得优异的工艺效果。

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电石炉主要是依靠电弧高温把生石灰和含碳原料(焦炭、无烟煤或石油焦) 熔化并反应生成电石的一种设备。

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