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电子厂净化车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。 电子厂净化车间内的新鲜空气量应取下列项中的大值：
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电子厂洁净车间的空调系统也是关键的一环。空调系统应该采用的过滤器，以过滤空气中的细菌和杂质，保持空气的洁净度。此外，空调系统应该有良好的排放系统，以避免空气中氧化碳和有害气体的积累。
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